砷化镓材料显影后的高温烘烤箱，无尘室专用烘箱

砷化镓材料显影后的高温烘烤箱，无尘室专用烘箱

一．用途:

无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

二．特点：

1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100

2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)

4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。

三．产品技术参数：

1.无尘等级：Class 100;

2.温度范围： +60～ +250℃；

3.升温速度：常温～+200℃,升温速度>6℃/min  ,

4.温度均匀度：±2.5℃;（空载）

5.温度精确度：±1℃（空载）

6.设备型号：

型号

工作室尺寸（mm）

外形尺寸（mm）

加热功率

层板

COL-2D(双腔）

W600×H500×D600

W1655×H1850×D1250

14kw

共2片

7.全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

8.内胆材料：采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；

9.中桶材料：采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

10.保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造。

11.电 热 器：采进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。

12.温 控 器：采用日本OMRON E5A型温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定，精确度±0.3%FS。

13.完善的安全保护措施：漏电保护/过热保护报警/电机保护报警/ 门锁工作时门自动锁/异常显示(三色警示灯)

主营概要：无尘烘箱, 隧道线烘箱, 环境试验箱, 高温烘箱, 真空烘箱, 电子防潮箱

企业简介： 上海旦顺实业有限公司简介 提供完整的温湿度管理问题解决方案 烘烤、除湿干燥、厂房环境温湿度管理       上海旦顺实业有限公司（DONE-E）是一家集生产、销售、服务于一体的烘箱、环境试验箱、防潮箱产品及提供环境温湿度管理专业解决方案的优秀供应商。公司已建立以环境试验设备、烘箱、隧道炉等产品为主体的加工基地。       我公司拥有专业的技术人才，先进的生产设备，强大的生产型经济实体，有稳定的原材料供应商和充分的优质货源，为公司的长远发展提供了有利的保障。作为中国领先的环境管理系统提供商。公司专门为半导体、电子、医药、实验室提供各种环境管理解决方案。       为了确保公司产品继续保持其竞争优势， Done-e一直致力投资开发未来一代的先进技术。目前 Done-e 已着手开发未来 5 至 10 年都可适用的高性能技术。   Done-e 的产品系列 精密热风循环烘箱 真空烘箱 无尘烘箱 无氧烘箱 恒温恒湿试验箱 高低温交变试验箱 高低温冲击试验箱 ... 查看更多介绍信息