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真空连续式镀膜流水线配置表
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序号
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项目
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规格及说明
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1
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设备主体
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1.1
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外形尺寸
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15.6m*2.4*1.6m（长*宽*高）
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1.2
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整体重量
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17吨
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2
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传输部分
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2.1
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工件盘尺寸
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1210*600mm
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2.2
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驱动电机
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LENZE MDSKSRS036-13
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3
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真空系统
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3.1
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预抽真空组
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PAC250+WKP500A
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3.2
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高真空分子泵
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TMH1001和TMH521
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3.3
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冷凝泵
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POLYCOLD PFC-1102HC
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4
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真空压力检测
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4.1
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皮拉尼规
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TPR 265
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4.2
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全量程检测真空计
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PKR251
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4.3
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过程压力测量
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MKS Baratron627B
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4.4
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压力安全开关
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PN3009
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5
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气流控制系统
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5.1
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气流量控制器
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MKS 质量流量控制器
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6
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溅射系统及电源
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6.1
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辉光清洗电源
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霍庭格 TIE 10/100P
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6.2
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溅射电源
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霍庭格 TIG DCS30
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6.3
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清洗电极尺寸
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580*160
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6.4
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阴极溅射靶尺寸
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900*240
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7
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自动化控制系统
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7.1
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上位机
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SEMITIC PANEL PC670
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7.2
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可编程控制器
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西门子 PROFIBUS 网络 S-318CPU
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8
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外围配置及要求
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8.1
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电源输入要求
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380V 240KW
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8.2
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冷水机
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K-2-38/5-2
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8.3
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压缩空气
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压力6-7BAR 2-3立方/小时
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主营概要：行业专用设备，仪器仪表，电动工具，化工设备
企业简介： 深圳市昊光机电应用科技有限公司是一家集科研、开发、生产、贸易为一体的高新技术企业。公司积极引进国外先进制造技术，发展创新，结合生产实际，逐渐形成以光盘母盘制造、精密微结构制造、材料表面真空处理、等离子体应用、激光微细加工为主体得5大生产核心。领先的技术，优质的产品，完善得制造工艺、科学的经营理念，以及优良的售后服务赢得客户的普遍好评。 公司注重与国内外高校、研究所、技术专家得合作与交流，始终保持技术得前沿性、先进性、实用性，在信息技术、光波导传输、纳米压印制版、半导体、微结构机电结构、光伏太阳能、薄膜电池、材料表面处理等高科技领域，公司得产品及服务得到了国内外公司得应用与合作。 公司依靠自身实力及各方支持，建立起企业自身的微纳实验中心，包括清洗系统、蒸发镀膜机、mrc943磁控镀膜机、semitool电镀机、sts深硅蚀刻、oxford system 90 rie离子蚀刻、karl suss rc8旋转涂膜机、karl suss ma56曝光机、exitech m2000激光微加工系统等，以及veeco原子力显微镜、polyvar2 光学显微镜等先进检测仪器，欢迎各企业、高校合作开... 查看更多介绍信息
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