热诚推荐PECVD化气象沉积设备
- 售 价：面议
- 型 号： 未填写，请电话咨询
- 品 牌：昊光机电
- 数 量：按需
- 质 标：内部质量标准
- 产 地：广东 深圳市
- 交 货：按订单决定交货期
- 运 费：卖家承担
- 付 款：
- 时 效：长期供应
- 系统更新：2013-05-14
产品属性
- 工作原理：
- 操作人员：
- 保护措施：
- 是否二手：
- 使用寿命：
- 作业场地
：
产品描述
1、设备整体尺寸：2000mm*18000mm*1600mm（宽*深*高）
2、真空室尺寸：直径700、900、1100mm
3、平行板电极尺寸：直径600、800、1000mm
4、电极冷却及调节：水冷，可调节
5、真空系统：粗抽泵+分子泵机组
6、极限真空度：1*10-6mabr。
7、溅射电源：AE 射频直流电源3KW-5KW-10KW
8、工艺匹配：全自动匹配
9、气体控制：MKS 质量流量控制器 4路
10、真空检测：MKS 薄膜压力规
11、加热系统：石英管加热或热电阻加热 5KW-8KW-12KW
12、控制方式：全自动控制系统
PECVD化学气象沉积系统，可以进行DLC、SIN、TIN等不同膜层得沉积
联系方式
- 发 布 人：昊光机电应用科技有限公司
- 联系人：
- 电话：0755726985163
- 传真：0755726991745
- 邮箱：@请留言
- QQ：
- 微信：
- 地址：广东深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋
- 会员类型：普通会员 第12年
- 实名认证：未认证
- 供货商信誉：
供应商昊光机电应用科技有限公司的相关信息如下
主营概要：行业专用设备，仪器仪表，电动工具，化工设备
企业简介：
深圳市昊光机电应用科技有限公司是一家集科研、开发、生产、贸易为一体的高新技术企业。公司积极引进国外先进制造技术，发展创新，结合生产实际，逐渐形成以光盘母盘制造、精密微结构制造、材料表面真空处理、等离子体应用、激光微细加工为主体得5大生产核心。领先的技术，优质的产品，完善得制造工艺、科学的经营理念，以及优良的售后服务赢得客户的普遍好评。
公司注重与国内外高校、研究所、技术专家得合作与交流，始终保持技术得前沿性、先进性、实用性，在信息技术、光波导传输、纳米压印制版、半导体、微结构机电结构、光伏太阳能、薄膜电池、材料表面处理等高科技领域，公司得产品及服务得到了国内外公司得应用与合作。
公司依靠自身实力及各方支持，建立起企业自身的微纳实验中心，包括清洗系统、蒸发镀膜机、mrc943磁控镀膜机、semitool电镀机、sts深硅蚀刻、oxford system 90 rie离子蚀刻、karl suss rc8旋转涂膜机、karl suss ma56曝光机、exitech m2000激光微加工系统等，以及veeco原子力显微镜、polyvar2 光学显微镜等先进检测仪器，欢迎各企业、高校合作开...
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